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mini RTP快速退火炉

此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和独特的加热方式与一体,使得体积和功

率都大幅减小的同时,升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空,满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。


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应用

快速热退火(RTA); 离子注入后退火

 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

 快速热氧化(,RTO); 热氮化(RTN);

 硅化(Silicidation);

 扩散(Diffusion);

 离子注入后退火(Implant Annealing);

 电极合金化(Contact Alloying);

 晶向化和坚化(Crystallization and Densification);


产品参数
产品名称小型快速退火炉
产品型号RTP1100S
极限温度1100℃
额定温度1100℃
控温精度±1℃
最快升温速率20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S)
最快降温速率随炉冷却75℃/min  物料台拉出降温800℃/min
控制方式智能PID
加热方式短波红外线加热
加热腔体结构石英管
样品冷却自然冷却或通入冷却气体
冷却气体调节浮子流量计(100~1000ml/min)(选配)
超温保护温度出现过高时切断主回路
恒温区尺寸35mm
载料体尺寸30*25mm
传感器类型K型
真空系统1L/S 双级联真空系统 CHY-4C(选配)
整机真空度3Pa(选配CHY-4C真空泵)
抽气端口尺寸KF25
供气口尺寸1/4英寸双卡套
额定功率1.5kw
额定电压AC220V,50Hz
重量15kg
配件坩埚钳1把,说明书1本。
外形尺寸610x400x410(长*宽*高)




  • 电话: 0371-55027790/55027782、15637176302
  • 传真: 0371 5502 7786
  • 邮箱: chengyi@chysk.com
  • :
  • 地址: 河南自贸试验区郑州片区(经开)第十大街136号

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