工作电源

AC 380V，三相，20KW

感应射频

30-80KHz

最高熔炼温度

1650℃

真空系统（选配）

配置一：10-2torr (机械泵)

1.型号：VRD-24

2.抽气口接口尺寸：KF25

3.抽气速率：(24m3/h) 6.6L/S

4.电机功率：750W

5.极限压强 4×10-2Pa

配置二：10-5torr  (机械泵+分子泵)

1.抽气速率：620L/s

2.极限压强：6×10-5Pa

3.启动时间：≤8min

4.额定转速：27000rpm/min

5.冷却方式：水冷

6.抽气口接口尺寸：LF160

真空腔室

1.采用 SS304 不锈钢腔体双层水冷腔体，确保设备工作室表面温度 ≤70℃，

2.腔体尺寸：  φ400*400mm卧式结构

3.腔门上有一个50*150mm 的方形观察窗口，方便晶体生长过程中实 时观察样品的熔化和生长情况；

4.腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.15MPa 的机械压力表用于观察 腔室内压力情况

5.一个 φ6 双卡套接头做为出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断

6.一个电磁阀可自动控制进气

7.安装了一个安全泄压阀，当腔室中压力大于一定值时将自动泄压， 确保腔体的安全

提拉机构

1.提拉采用伺服电机驱动，旋转采用直流电机驱动

2.提拉速度：0.01-30mm/h

3.籽晶杆旋转速度：0.1-60 rpm

4.最大提拉行程：200mm

5.位移精度：0.01mm

6.提拉分为快速和慢速

坩埚旋转机构

1.直流电机驱动

2.旋转速度：1-30 rpm

控制系统

1.整个电路控制系统在触摸屏上面实现操作控制,采用控制软件进行控制，可以实现以下功能：

2.生长斜率及控制参数设定；

3.控制晶升，动态可调

4.控制晶转，可设定多段速自动执行

5.腔体真空压力检测

6.报警监测，晶升晶转中频气压等上限报警

7.实时数据曲线

8.数据记录， 自动存储运行数据

水冷系统（选配）

1.工作电流：2.1-12.9A

2.制冷量：49474Btu/h

3.最大流量：117L/min

4.水箱容量：75L

坩埚系统（选配）

1.可选石墨坩埚或者氮化硼坩埚和相应的保温材料组件

此单晶炉的坩埚尺寸分为D50*H50mm和D80*H80mm

变压器（选配）

可根据客户所在地的电压选配变压器，如480V变380V，415V变380V等

产品尺寸（参考）

1.设备主机：~1480mm(L)  x 1150mm(W) x 2450mm(H)

2.冷水机：~800mm(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

3.变压器：~1050(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)