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1700℃ CVD系统

该常规型CVD设备是由1700℃管式炉、三路质量流量计和真空泵系统组成,用户可以选配不同型号的炉子和气路系统搭配不同的化学气相沉积系统。
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技术参数

该常规型CVD设备是由1700℃管式炉、三路质量流量计和真空泵系统组成,用户可以选配不同型号的炉子和气路系统搭配不同的化学气相沉积系统。

管式炉部分
产品名称 1700℃ CVD系统
产品型号 T1760A-3Z
炉膛模式 开启式
显示模式 高亮度LED数码管
炉膛材料 氧化铝纤维
加热元件 高纯硅钼棒
极限温度 1700℃
工作温度 ≤1650℃
升温速率 ≤20℃ (建议:10℃/min)
加热温区 单温区
温区长度 300mm
恒温区长 150mm
炉管材质 刚玉管
炉管直径 60mm(炉管内径:50mm)
炉管长度 1000mm
密封方式 真空法兰
气 密 性 7.8×10-4Pa
控制模式 智能PID
控温精度 ±1℃
温度曲线 30段"时间—温度曲线"任意可设
超温报警
过流保护
断偶提示
测温元件 B型热电偶
电气认证 CE认证
供电电源 220V 50Hz
额定功率 4KW
外形尺寸 700*510*720 mm
售后服务 12个月质保,终身保修
真空泵部分
型号 CHY-4C
抽速m/h(L/s) 4(1.1)
极限分压强-无气镇(Pa) 5×10-2
极限总压强-无气镇(Pa) 5×10-1
极限总压强-有气镇(Pa) 3
电源 AC220V
电机功率(KW) 0.4/0.37
进排气连接口DN(mm) KF16/25
用油量(L) 0.6~1
电机转速(rpm) 1440
流量计部分
产品名称 三路质量气体配比器
产品型号 CHY-3Z
流量计类型 质子流量计
流量计管芯 304不锈钢
调节阀类型 电磁调节阀
管道常态 常闭
流量计外壳 黑色铝壳
气体种类 3种
接口尺寸 1/4"
测量精度 ±1.0%F.S
线性度 ±0.5%F.S
重复精度 ±0.2%F.S
压力范围 -0.1-0.15 MPa
A路气体测量范围 0~100SCCM
B路气体测量范围 0~200SCCM
C路气体测量范围 0~500SCCM
流量控制范围 2%~100%
零点温漂 0.6F.S(15~35℃)
响应时间 2S
工作环境温度 (15~50℃)
精度保证温度 (15~35℃)
供电电源 220V 50Hz
外形尺寸 L700×W600×H580
设备重量 43kg

 

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