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小型快速退火炉

型号:RTP1000S 此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和独特的加热方式与一体,使得体积和功率都大幅减小的同时,升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空,满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。
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技术参数

应用领域

Ø 速热退火 (RTA); 离子注入后退火

Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

Ø 硅化 (Silicidation);

Ø 扩散 (Diffusion);

Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);


    主要特点

Ø 极速升温20℃/S,极速降温20℃/S;

Ø 控温稳定,恒温精度≤1℃

Ø 体积小巧,使用功率只有1kw;

Ø 超高光线反射效率,无需炉膛保温

  

产品名称 小型快速退火炉
产品型号 RTP1000S
极限温度 1000℃
额定温度 1000℃
控温精度 ±1℃
最快升温速率 20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S)
最快降温速率 随炉冷却75℃/min  物料台拉出降温800℃/min
控制方式 智能PID
加热方式 短波红外线加热
加热腔体结构 石英管
样品冷却 自然冷却或通入冷却气体
冷却气体调节 浮子流量计(100~1000ml/min)(选配)
超温保护 温度出现过高时切断主回路
恒温区尺寸 35mm
载料体尺寸 30*25mm
传感器类型 K型
真空系统 1L/S 双级联真空系统 CHY-4C(选配)
整机真空度 3Pa(选配CHY-4C真空泵)
抽气端口尺寸 KF25
供气口尺寸 1/4英寸双卡套
额定功率 1.5kw
额定电压 AC220V,50Hz
重量 15kg
配件 坩埚钳1把,说明书1本。
外形尺寸 610x400x410(长*宽*高)

 

关键词:
快速退火炉,真空管式炉
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