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小型快速退火炉
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技术参数
应用领域
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
Ø 石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 扩散 (Diffusion);
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点
Ø 极速升温20℃/S，极速降温20℃/S；
Ø 控温稳定，恒温精度≤1℃
Ø 体积小巧，使用功率只有1kw；
Ø 高光线反射效率，无需炉膛保温；
| 产品名称 | 小型快速退火炉 |
| 产品型号 | RTP1000S |
| 极限温度 | 1000℃ |
| 额定温度 | 1000℃ |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 最快升温速率 | 20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S) |
| 最快降温速率 | 随炉冷却75℃/min 物料台拉出降温800℃/min |
| 控制方式 | 智能PID |
| 加热方式 | 短波红外线加热 |
| 加热腔体结构 | 石英管 |
| 样品冷却 | 自然冷却或通入冷却气体 |
| 冷却气体调节 | 浮子流量计(100～1000ml/min)（选配） |
| 超温保护 | 温度出现过高时切断主回路 |
| 恒温区尺寸 | 35mm |
| 载料体尺寸 | 30*25mm |
| 传感器类型 | K型 |
| 真空系统 | 1L/S 双级联真空系统 CHY-4C（选配） |
| 整机真空度 | 3Pa（选配CHY-4C真空泵） |
| 抽气端口尺寸 | KF25 |
| 供气口尺寸 | 1/4英寸双卡套 |
| 额定功率 | 1.5kw |
| 额定电压 | AC220V,50Hz |
| 重量 | 15kg |
| 配件 | 坩埚钳1把，说明书1本。 |
| 外形尺寸 | 610x400x410（长*宽*高） |
关键词:
快速退火炉，真空管式炉
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