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1700℃ CVD系统
该常规型CVD设备是由1700℃管式炉、三路质量流量计和真空泵系统组成,用户可以选配不同型号的炉子和气路系统搭配不同的化学气相沉积系统。
小型PECVD系统
该型号PECVD为成仪最新款,综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点,触摸屏集中一键控制,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。而且控制部分采用了成仪自主研发的实验电炉AIO全自动智能控制系统,使得操作更加简便,功能更加强大。
成仪PECVD系统
型号: PE-12100C 用途: 使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应.
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