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1700℃ CVD系统
该常规型CVD设备是由1700℃管式炉、三路质量流量计和真空泵系统组成,用户可以选配不同型号的炉子和气路系统搭配不同的化学气相沉积系统。
1700℃双温区真空管式炉
型号:
T1760B
产品概述:
T1760B是一款双温区管式炉,刚玉管外径60mm,加热元件为硅钼棒,加热区分为两个温区可同时烧结两种材料,也可以作为加长单温区管式炉使用,控温精度±1℃,控温方式采用30段控温,最高温度可达1700℃。
1700℃单温区真空管式炉
型号:
T1760A
用途:
物理/化学气象沉积(CVD/PVD)以及真空/气氛保护烧结、纳米材料制备。
规格:
单温区 管径大小为Φ60*1000mm
特点:
控温精准/ 可预存1条曲线/ 法兰设有测温孔
1700℃小型管式炉
型号:
T1750S
用途:
1700℃以下真空或气氛状态下烧结
特点:
体积小,价格低,操作简便
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