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等离子增强型化学气相沉积系统(PECVD双温区)

产品型号:CHY-PE1260A 

此款PECVD系统为带预热型的双温区化学气相沉积系统,预热温区200mm,沉积区长度200+200mm

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应用

PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,

利用等离子体的活性来促进反应,所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(PECVD)。

该型号PECVD为成仪最新款,综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点,在PECVD前端加入了气体预热区,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。

而且控制部分采用了成仪自主研发的实验电炉AIO全自动智能控制系统,使得操作更加简便,功能更加强大。




产品参数

主要特点:

1. 管内真空度自动平衡——管内真空度实时监测,自动平衡。PECVD工艺要求石英管内真空度通常在0.1~100Pa之间,该型号PECVD的AIO控制系统会通过真空泵的自动启停来维持用户设定的管内真空度,使成膜效果达最佳的均匀性。

2. AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控,协调控制——成仪AIO控制系统;

3. 智能气路通断——每路气体均可定时通断,自由切换,省时省力;

4. 射频功率的定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间,自动运行;

5. 炉膛移动速度可调——根据实验要求,用户可设定炉膛左右移动的速度可距离,在沉积结束后炉膛可自动移开沉积区,使样品快速冷却;

 

CHY-PE1260A

详细参数:

1. 炉膛模式:开启式炉膛

2. 显示模式:7英寸触摸屏

3. 控制系统:成仪AIO智能控制系统

4. 极限温度:1200℃

5. 加热元件:掺钼铁铬铝合金加热丝

6. 测温元件:K型热电偶

7. 保温材料:高纯度氧化铝纤维

 

8. 工作温度:≤1150℃

9. 升温速率:建议10℃/Min   Max:30℃/Min

10. 加热温区:双温区

11. 总温区长度:200+200 mm

12. 进气预热温度:800℃

13. 进气预热区长度:200mm

14. 炉管规格:60*1400 mm

15. 控温精度:±1℃

 

16. 密封方式:快速法兰密封

17. 温度曲线:30段"时间—温度曲线"任意可设

18. 预存曲线:可预存15条温度曲线

19. 曲线显示:烧结曲线实时描绘显示

 

19. 射频电源功率:5~300W自动匹配

20. 射频频率:13.56Mhz

 

21. 真空系统抽速:2L/s

22. 真空泵类型:双级联高真空机械泵

23. 真空泵极限真空度:10-2Pa

24. 系统真空度:≤20Pa

25. 管内压力要求:根据用户设定自动启停真空泵,达到压力自动平衡

26. 压力保护:管内超压后自动放气泄压

 

27. 供气系统:四路质量流量计

28. 精准度:±1

29. 气体种类:乙炔、氢气、氮气、二氧化碳

30. 气体切换:根据用户设定,四路气体必须自动切换



  • 电话: 0371-55027790/55027782、15637176302
  • 传真: 0371 5502 7786
  • 邮箱: chengyi@chysk.com
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