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RTP快速退火炉(多功能版)

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快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鉴了国际先进制造工艺,在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙的设计工艺使得冷却气体直接对着样品直吹,以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温

此款设备采用了成仪自主研发的智能AIO(All In One)控制系统,实现了炉膛自动左右移动,炉膛在左侧加热到设定温度后,直接移动到右侧样品区域,实现样品快速升温,样品加热到设定温度和时间后,炉膛自动移开样品加热区,实现样品的快速降温。成仪AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制,而且还能自动平衡炉管内的压力大小,真正实现了操作方便,而且安全可靠。

功能举例:样品加热到1000℃后,炉膛自动移开加热区,冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温,样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。然后炉膛移动到加热区继续加热,如此往复,往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭。


应用领域

Ø 速热退火 (RTA); 离子注入后退火

Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

Ø 硅化 (Silicidation);

Ø 扩散 (Diffusion);

Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

    
主要特点

Ø 极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;

Ø 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

Ø 直接测量样品表面温度,测温更精准;

Ø 炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用

Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格

技术参数:


产品名称

RTP多功能快速退火炉

产品型号

RTP1100-M

额定温度

1100℃

温场均匀性

±10℃

炉膛升温速率

≥100℃/S

最快降温速率

≥100℃/S

控温方式

炉膛与样品要分别控温,两个测温点

炉膛移动方式

根据用户样品设定温度自动左右移动,往复次数可调节

操控系统

智能AIO操作系统、PID控制(可选)

操作界面

7英寸触摸屏

加热方式

短波红外线加热

加热腔体结构

双层石英管

外管直径

100mm

内管直径

80mm

气体保护方式

外管进气,内管出气

压力保护

管内自动恒压(0.8~1.2个大气压任意可调)可选)

样品冷却

加热后炉膛自动移开,冷气打开直吹样品,降到设定温度自动关闭冷却气体。可选)

冷却气体调节

浮子流量计(100~1000ml/min)可选)

超温保护

温度出现过高时切断主回路

式样有效空间

90*100mm

真空系统

8L/S双级联真空系统可选)

整机真空度

0.5Pa

真空启动方式

根据程序设置自动启停可选)

抽气端口尺寸

KF16

供气口尺寸

1/4英寸双卡套

法兰冷却方式

水冷(短时间无需水冷)

真空显示

数字真空压力表

上位机操控

基于安卓系统APP可选)

数据导出方式

APP导出Excel表格可选)

额定功率

12kw

外形尺寸

950*500*560mm

重量

50kg

配件

管堵2支,法兰水冷套1支,耐温手套1双,坩埚钳1把,说明书1本。