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mini型RTP快速退火炉

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型号:
  

此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和独特的加热方式与一体,使得体积和功率都大幅减小的同时,升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空,满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。


应用范围:

Ø 速热退火 (RTA); 离子注入后退火

Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);

Ø 硅化 (Silicidation);

Ø 扩散 (Diffusion);

Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);

Ø 电极合金化 (Contact Alloying);

Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);




主要特点:

Ø 极速升温20℃/S,极速降温20℃/S;

Ø 控温稳定,恒温精度≤1℃

Ø 体积小巧,使用功率只有1kw;

Ø 超高光线反射效率,无需炉膛保温



技术参数:

  产品名称

  mini快速退火炉

  产品型号

  RTP1000S

  极限温度

  1000℃

额定温度

1000℃

控温精度

±1℃

最快升温速率

20℃/S(900-1000℃升温3-5℃/S)

最快降温速率

随炉冷却75℃/min  物料台拉出降温800℃/min

控制方式

智能PID

加热方式

短波红外线加热

加热腔体结构

石英管

样品冷却

自然冷却或通入冷却气体

冷却气体调节

浮子流量计(100~1000ml/min)(选配)

超温保护

温度出现过高时切断主回路

  恒温区尺寸

  35mm

载料体尺寸

30*25mm

传感器类型

K型

  真空系统

  1L/S 双级联真空系统 CHY-4C(选配)

  整机真空度

  3Pa(选配CHY-4C真空泵)

  抽气端口尺寸

  KF16

  供气口尺寸

  1/4英寸双卡套

  额定功率

  1.5kw

  额定电压

  AC220V,50Hz

  重量

  15kg

  配件

  坩埚钳1把,说明书1本。

外形尺寸

  610x400x410(长*宽*高)