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高温CVD系统

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应用

该常规型CVD设备是由1500℃管式炉、三路质量流量计和真空泵系统组成,用户可以选配不同型号的炉子和气路系统搭配不同的化学气相沉积系统。

 


产品参数

详细参数:


加热炉部分
1极限温度1500℃
2工作温度≤1450℃
3升温速率建议10℃/Min   Max:20℃/Min
4温区长度300mm(加热区),160mm(恒温区)
5炉管规格60*1000 mm
6控温精度±1℃
7密封方式不锈钢真空法兰
8温度曲线30段"时间—温度曲线"任意可设
9控制模式智能PID多段程序控温
10超温报警
11过流保护
12断偶提示
13测温元件S型热电偶
14炉膛材料高纯氧化铝纤维
15加热材料硅碳棒(SiC)

真空部分
1工作电电压220V±10%  50~60HZ
2功率500W
3抽气速率2L\s
4进气口口径KF25
5排气口口径KF25
6转速1450rpm
7噪音55dB
8系统真空度≤10Pa

三路供气系统
1流量计类型七星华创质量流量计
2准确度±0.35%
3重复精度±0.2%
4响应时间气特性:1 Sec
5工作压差范围0.1~0.5 MPa
6气路管道304不锈钢
7连接接通双卡套不锈钢接头
8气体种类氮气、氩气、甲烷、二氧化碳、氢气等(50~500sccm)




  • 电话: 0371-55027790/55027782、15637176302
  • 传真: 0371 5502 7786
  • 邮箱: chengyi@chysk.com
  • :
  • 地址: 河南自贸试验区郑州片区(经开)第十大街136号

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